高速中走絲，根據(jù)這種技術(shù)，該公司開發(fā)了一系列超敏感和高真空的絕對(duì)壓力電容式傳感器，可測(cè)量0.5 Torr(66.5 kPa)以下的壓力，分辨力小于10-6 Torr(10-3 Pa)，靈敏度高達(dá)35 pF/Torr。該公司還解決了傳感器與外界電連接導(dǎo)致空腔密封性變差的問題。除此之外，傳感器的溫度特性也容易補(bǔ)償，整體性能優(yōu)越。

高速中走絲，傳感器結(jié)構(gòu)創(chuàng)新，傳統(tǒng)的電容式壓力傳感器屬于單端電容式結(jié)構(gòu)，即只有一個(gè)電容在發(fā)生變化。相關(guān)研究證明，差動(dòng)電容式結(jié)構(gòu)的靈敏度要比單電容結(jié)構(gòu)提高一倍，已經(jīng)廣泛用于普通壓力傳感器的小量程壓力測(cè)量。

高速中走絲，為此，沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué)開展了差動(dòng)電容式結(jié)構(gòu)的硅差壓傳感器的研制，中國(guó)科學(xué)院的王躍林教授在差動(dòng)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上提出了一種靜電伺服電容式傳感器模型，解決了極板間隙過小導(dǎo)致傳感器動(dòng)態(tài)范圍窄的問題。